分子束外延（MBE）

電子束曝光機 晶圓級制造

自動紫外光刻機

手動紫外光刻機

自動勻膠機

自動顯影機

HMDS烘箱

手動勻膠機

反應離子刻蝕RIE

電感耦合等離子體刻蝕ICP

電子束蒸發鍍膜

磁控濺射sputter

等離子增強化學氣相沉積PECVD

有機清洗機

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臺階儀

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快速退火爐

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減薄拋光機